光学衍射建模

面向半导体光刻的基于光学衍射的卷积

Optical Diffraction-based Convolution for Semiconductor Lithography

把光学衍射的相位传播先验写进卷积核（optical phase kernel），为需要物理一致性的成像逆问题提供了一种可复用的「物理算子嵌入网络」范式，可迁移到计算成像、相位恢复等任务。